详述

frame-ks

工艺:
● 适合125“/156“硅片
● 兼容不同尺寸的石英舟

 

 

特点:
● 上下料:花篮
● 输出:石英舟
● 可选方阻检测
● 可选支持MES功能和远程诊断功能
● 可选智能IGV接口
● 智能机器,OEE统计和能源消耗分析功能

PDF Download