详述

frame-PECVD工艺:
● 适合125“/156“硅片
● 兼容不同尺寸的石墨舟的PECVD工艺

特点:
● 上料和下料 : 花篮 or Stack
● 输出 : 石墨舟/石墨框
● 实时温度监控
● 可选在线色差检测
● 可选支持MES功能和远程诊断功能
● 可选智能IGV接口
● 智能机器,OEE统计和能源消耗分析功能

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