详述

frame-PECVD工艺 :
● 适应125和156硅片
● 匹配多种印刷线

特点 :
● 上料:对接工艺设备或叠片盒
● 下料:叠片盒
● 自由分档功能
● 下料叠片盒自动切换功能
● 可选支持AOI正反面检测,IV正反面检测
● 可选双轨和单轨设计
● 可选支持MES功能和远程诊断功能
● 可选智能IGV接口
● 智能机器,OEE统计和能源消耗分析功能

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