详述

frame-Wet工艺:
●适应M2 (156. 75), M4 (161. 75), G1 (158. 75), M6 (166), M10 (182), M12 (210)及230mm硅片
●兼容不同品牌的制绒和刻蚀设备

特点:
●输入:花篮或堆叠
●输出:花篮
●可选高精度蚀刻量称重碎片检测,叠片检测, 翻转
●可选5道、6道8道或10道
●可选MES接口和远程诊断
●OEE统计及能耗分析
●可选智能IGV接口

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