详述

frame-PECVD工艺:
● 适应M2(156. 75), M4(161. 75), G1 (158. 75), M6(166), M10 (182), M12 (210)及230mm硅片兼容不同尺寸的石墨舟或石墨框
● 适合HJT工艺

特点:
● 上下料:花篮
● 输出:石墨载板
● 可选PL测试
● 洁净室等级1000
● 载板自动清理功能
● 可选支持MES功能和远程诊断功能
● 可选智能IGV接口
● 智能机器,OEE统计和能源消耗分析功能

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