详述

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工艺:
● 适应M2(156.75),M4(161.75),G1(158.75),M6(166),M10(182),M12(210)及230mm硅片
● 兼容不同工艺设备和不同尺寸的石英舟

特点:
● 上料和下料:花篮
● 输出 :石英舟,一拖一/二
● 陶瓷吸盘,陶瓷快插顶齿
● 标配离子分片风刀
● 可选方阻测试,亲水性测试,缺片检测,带水片检测
● 可选支持MES功能和远程诊断功能
● 可选智能IGV接口
● 智能机器,OEE统计和能源消耗分析功能

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