详述

frame-PECVD工艺:
●适应M2(156. 75), M4(161. 75), G1 (158. 75), M6(166), M10 (182), M12 (210)及230mm硅片
● 兼容不同尺寸石墨舟的PECVD工艺

特点:
● 上下料:花篮或堆叠
● 输出:石墨舟
● 实时温度监控
● 可选在线色差/膜厚检测, PL检测, 碎片检测, 翘片检测, 翻转
● 可选支持MES功能和远程诊断功能
● 智能机器, OEE统计和能源消耗分析功能
● 标配舟温检测, 垂直拍舟, 陶瓷吸盘, 单路真空
● 可选智能IGV接口

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