详述

frame-Wet工艺:
●适应M2 (156. 75), M4 (161. 75), G1 (158. 75), M6 (166), M10 (182), M12 (210)及230mm硅片
●兼容不同品牌的制绒和刻蚀设备

特点:
● 输入:叠片盒
● 输出:花篮
● 可选高精度称重, 隐裂, 尺寸, 碎片检测
● 上料可选2道或3道
● 可选MES接口和远程诊断
● OEE统计及能耗分析
● 可选智能IGV接口

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