制绒
扩散、退火、氧化
链氧、去PSG/碱抛
镀膜
测试分选
辅助设备
布局尺寸
- W x D x H
- 5000 X4400 X 2500 mm
制绒上料、下料上下料
RTA-WTA-9000-18000
产品信息：
- 型号: RTA-WTA-9000-18000
- 产能：9000-18000
- 碎片率：≤0.01%@166；0.02%@182；0.03%@210
- 上线率: ≥ 99%
- 可选 AGV 或 回流线方案 布局
- 可选双片检测、带液片检测、碎片检测、隐裂检测
- 适应M6,M10,M12及220-230mm整片片或半片
槽式单晶制绒机
产品信息：
- 型号：ET-V8000/15000
- 产能 ： 8000-15000 片/小时
- 碎片率：M10< 0.01%/M12< 0.02%
- 稼动率: ＞98%
特征：
- 适用于高效电池 PERC,TOPCon碱制绒
- 对电池片进行制绒、清洗
- 独有设计，药液使用寿命长
- 机械手分配合理，有效避免药液交叉污染和反应超时
- 所有与液体接触材料优化升级，避免材料使用杂质析出
布局尺寸
- W x D x H
- 9700 X 4500 X 2600 mm
扩散、退火、氧化上下料
RTA-DIA12000-U-2R-12
产品信息：
- 型号: RTA-DF-12000
- 产能：12000
- 碎片率：0.01%@182；0.02%@210
- 上线率: ≥ 99%
- 六轴机器人插取片方案
- 可选视觉花篮缺片检测、石英舟碎片检测、石英舟定位
- 适应M6,M10,M12及220-230mm硅片整片片或半片
布局尺寸
- W x D x H
- 13000 X6800 X 3000 mm
扩散、退火、氧化上下料
RTA-ARK20-30000-T
产品信息：
- 型号: RTA-ARK20-30000-T
- 产能：20000-30000
- 碎片率：0.01%@182；0.02%@210
- 上线率: ≥ 99%
- 天车传舟方案
- 直线电机龙门架设计，高速、稳定，可靠
- 可选视觉花篮缺片检测、石英舟碎片检测、石英舟定位
- 适应M6,M10,M12及220-230mm硅片整片片或半片
布局尺寸
- W x D x H
- 13000 X6800 X 3000 mm
扩散、退火、氧化上下料
RTA-ARK20-30000-I
产品信息：
- 型号: RTA-ARK20-30000-I
- 产能：20000-30000
- 碎片率：0.01%@182；0.02%@210
- 上线率: ≥ 99%
- IGV搬舟方案
- 直线电机龙门架设计，高速、稳定，可靠
- 可选视觉花篮缺片检测、石英舟碎片检测、石英舟定位
- 适应M6,M10,M12及220-230mm硅片整片片或半片
链式去PSG清洗机
产品信息：
- 型号：RCL-I 8000/14000
- 产能 ： 8000-14000片/小时
- 碎片率：≤0.02%（M10以上尺寸硅片）
- 稼动率: ＞ 98%
特征：
- 适用于高效电池 PERC & TOPCon单面清洗
- 用于去除 PSG/BSG
- 高均匀性，超长药液寿命
- 高产能，低运营成本
槽式碱抛光机
产品信息：
- 产能 ： 8000-15000片/小时
- 碎片率：M10< 0.01%/M12<0.02%
- 上线率: ＞ 98%
特征：
- 适用于高效电池 PERC & TOPCon 的碱抛光
- 用于硅片的抛光刻蚀、清洗处理
- 洁净区域干燥，自洁净系统
- 机械手分配合理，有效避免药液交叉污染和槽体反应超时
- 所有与液体接触材料优化升级，避免材料使用杂质析出
- 智能机器，能源消耗统计分析功能
- 高产能、低运营成本
- 兼容MES和RFID功能
布局尺寸
- W x D x H
- 15000 X4500 X 2500 mm
链氧、去PSG、碱抛上下料
RTA-WPA-8000-16000
产品信息：
- 型号: RTA-WPA-8000-16000
- 产能：8000-16000
- 碎片率：≤0.02%@166；0.03%@182；0.03%@210
- 上线率: ≥ 99%
- 可选 AGV 或 回流线方案 布局
- 可选双片检测、带液片检测、碎片检测、隐裂检测
- 适应M6,M10,M12及220-230mm整片片或半片
布局尺寸
- W x D x H
- 11000 X 2900 X 2500 mm
管式正膜、背膜镀膜上下料
RTA-PE-4000-9000
产品信息：
- 型号: RTA-PE-4000-9000
- 产能：4000-9000
- 碎片率：0.04%@182；0.05%@210
- 上线率: ≥ 99%
- 可选 史陶比尔 或 发那科 机械手插取片
- 分段整体焊接钢架，结构稳定可靠
- 可选视觉翘片检测、石墨舟定位
- 适应M6,M10,M12及220-230mm整片片或半片
布局尺寸
- W x D x H
- 11000 X6000 X 2500 mm
一体机（板式ALD）
RTA-ALD-6000-16000
产品信息：
- 型号: RTA-ALD-6000-16000
- 产能：6000-16000
- 碎片率：≤0.04%@166；0.04%@182；0.04%@210
- 上线率: ≥ 99%
- 可选 上下料分开 或 一体式 布局
- 可选自动碎片清理
- 适应M6,M10,M12及220-230mm整片片或半片
布局尺寸
- W x D x H
- 16000 X3100 X 2500 mm
测试分选
RTA-SRT-7500
产品信息：
- 型号: RTA-SRT-7500
- 产能：7500@166；7500@182；7200@210
- 碎片率：≤0.06%@166；0.08%@182；0.08%@210
- 上线率: ≥ 99%
- 可选支持AOI正反面检测，IV正反面检测
- 整体式布局或分体式布局
- 可选AB轨共用方案，整体长度短
- 适应M6,M10,M12及220-230mm电池片，半片
返工片清洗机
产品信息：
- 型号：RC-I2500/4000
- 产能 ： 2500-4000 片/小时
- 碎片率：≤0.01%
- 稼动率: ≥ 98.5%
特征：
- 适用于高效电池 PERC & TOPCon返工片清洗
- 灵活的工艺流程
- 高效的冲洗和烘干
- 高产能、低运营成本
- 智能机器，能源消耗统计分析功能
花篮清洗机
产品信息：
- 型号：DC-1.0
- 产能 ： 200/400篮/天
- 稼动率: ≥ 98%
特征：
- 全自动花篮刷洗，烘干
- 清洗快速高效
- 节水设计
制绒
扩散、退火、氧化
链氧、去PSG/碱抛
镀膜
测试分选
辅助设备
布局尺寸
- W x D x H
- 5000 X4400 X 2500 mm
制绒上料、下料上下料
RTA-WTA-9000-18000
产品信息：
- 型号: RTA-WTA-9000-18000
- 产能：9000-18000
- 碎片率：≤0.01%@166；0.02%@182；0.03%@210
- 上线率: ≥ 99%
- 可选 AGV 或 回流线方案 布局
- 可选双片检测、带液片检测、碎片检测、隐裂检测
- 适应M6,M10,M12及220-230mm整片片或半片
槽式单晶制绒机
产品信息：
- 型号：ET-V8000/15000
- 产能 ： 8000-15000 片/小时
- 碎片率：M10< 0.01%/M12< 0.02%
- 稼动率: ＞98%
特征：
- 适用于高效电池 PERC,TOPCon碱制绒
- 对电池片进行制绒、清洗
- 独有设计，药液使用寿命长
- 机械手分配合理，有效避免药液交叉污染和反应超时
- 所有与液体接触材料优化升级，避免材料使用杂质析出
布局尺寸
- W x D x H
- 9700 X 4500 X 2600 mm
扩散、退火、氧化上下料
RTA-DIA12000-U-2R-12
产品信息：
- 型号: RTA-DF-12000
- 产能：12000
- 碎片率：0.01%@182；0.02%@210
- 上线率: ≥ 99%
- 六轴机器人插取片方案
- 可选视觉花篮缺片检测、石英舟碎片检测、石英舟定位
- 适应M6,M10,M12及220-230mm硅片整片片或半片
布局尺寸
- W x D x H
- 13000 X6800 X 3000 mm
扩散、退火、氧化上下料
RTA-ARK20-30000-T
产品信息：
- 型号: RTA-ARK20-30000-T
- 产能：20000-30000
- 碎片率：0.01%@182；0.02%@210
- 上线率: ≥ 99%
- 天车传舟方案
- 直线电机龙门架设计，高速、稳定，可靠
- 可选视觉花篮缺片检测、石英舟碎片检测、石英舟定位
- 适应M6,M10,M12及220-230mm硅片整片片或半片
链式去PSG/BSG清洗机
产品信息：
- 型号：RCL-I 8000/14000
- 产能 ： 8000-14000片/小时
- 碎片率：≤0.02%（M10以上尺寸硅片）
- 稼动率: ＞ 98%
特征：
- 适用于高效电池 PERC & TOPCon单面清洗
- 用于去除 PSG/BSG
- 高均匀性，超长药液寿命
- 高产能，低运营成本
槽式碱抛光机
产品信息：
- 产能 ： 8000-15000片/小时
- 碎片率：M10< 0.01%/M12<0.02%
- 上线率: ＞ 98%
特征：
- 适用于高效电池 PERC & TOPCon 的碱抛光
- 用于硅片的抛光刻蚀、清洗处理
- 洁净区域干燥，自洁净系统
- 机械手分配合理，有效避免药液交叉污染和槽体反应超时
- 所有与液体接触材料优化升级，避免材料使用杂质析出
- 智能机器，能源消耗统计分析功能
- 高产能、低运营成本
- 兼容MES和RFID功能
布局尺寸
- W x D x H
- 18800 X 2950 X 2650 mm
去绕镀清洗机
产品信息：
- 型号：CB-V8000/14000
- 产能 ： 8000-14000 片/小时
- 碎片率：M10≤0.01%/ M12≤0.02%
- 稼动率: ≥ 98%
特征：
- 适用于高效TOPCon电池去绕镀清洗
- 洁净区域干燥，自洁净系统
- 机械手分配合理，有效避免药液交叉污染和反应超时
- 所有与液体接触材料优化升级，避免材料使用杂质析出
- 兼容MES和RFID功能
- 智能机器，能源消耗统计分析功能
链氧、碱抛、去PSG上下料
RTA-WPA-9000-15000
产品信息：
- 型号: RTA-WPA-9000-15000
- 产能：8000-16000
- 碎片率：≤0.02%@166；0.03%@182；0.03%@210
- 上线率: ≥ 99%
- 可选 AGV 或 回流线方案 布局
- 可选双片检测、带液片检测、碎片检测、隐裂检测
- 适应M6,M10,M12及220-230mm整片片或半片
布局尺寸
- W x D x H
- 11000 X 2900 X 2500 mm
管式正膜、背膜镀膜上下料
RTA-PE-4000-9000
产品信息：
- 型号: RTA-PE-4000-9000
- 产能：4000-9000
- 碎片率：0.04%@182；0.05%@210
- 上线率: ≥ 99%
- 可选 史陶比尔 或 发那科 机械手插取片
- 分段整体焊接钢架，结构稳定可靠
- 可选视觉翘片检测、石墨舟定位
- 适应M6,M10,M12及220-230mm整片片或半片
布局尺寸
- W x D x H
- 11000 X6000 X 2500 mm
一体机（板式ALD）
RTA-ALD-6000-16000
产品信息：
- 型号: RTA-ALD-6000-16000
- 产能：6000-16000
- 碎片率：≤0.04%@166；0.04%@182；0.04%@210
- 上线率: ≥ 99%
- 可选 上下料分开 或 一体式 布局
- 可选自动碎片清理
- 适应M6,M10,M12及220-230mm整片片或半片
布局尺寸
- W x D x H
- 16000 X 3100 X 2500 mm
测试分选
RTA-SRT-7500
产品信息：
- 型号: RTA-SRT-7500
- 产能：7500@166；7500@182；7200@210
- 碎片率：≤0.06%@166；0.08%@182；0.08%@210
- 上线率: ≥ 99%
- 可选支持AOI正反面检测，IV正反面检测
- 整体式布局或分体式布局
- 可选AB轨共用方案，整体长度短
- 适应M6,M10,M12及220-230mm电池片，半片
返工片清洗机
产品信息：
- 型号：RC-I2500/4000
- 产能 ： 2500-4000 片/小时
- 碎片率：≤0.01%
- 稼动率: ≥ 98.5%
特征：
- 适用于高效电池 PERC & TOPCon返工片清洗
- 灵活的工艺流程
- 高效的冲洗和烘干
- 高产能、低运营成本
- 智能机器，能源消耗统计分析功能
花篮清洗机
产品信息：
- 型号：DC-1.0
- 产能 ： 200/400篮/天
- 稼动率: ≥ 98%
特征：
- 全自动花篮刷洗，烘干
- 清洗快速高效
- 节水设计
制绒
非晶硅镀膜
TCO（透明导电膜）
铜电镀
测试分选
HJT制绒机
产品信息：
- 型号：ET-V8000
- 产能 ： 8000片/小时
- 碎片率：M6< 0.01%/M10< 0.02%
- 稼动率: ＞95%
特征：
- 适用于高效HJT电池制绒
- 独有设计，药液使用寿命长
- 机械手分配合理，有效避免药液交叉污染和反应超时
- 碱洗区、酸洗区分区域设计
- 全线无盲区消除静电
- 所有与液体接触材料优化升级，避免材料使用杂质析出
- 兼容MES和RFID功能
- 智能机器，能源消耗统计分析功能
PECVD镀膜自动化
产品信息：
- 型号: RTA-PECVD-3500-24000
- 产能：3500-24000
- 碎片率：0.06%@182；0.06%@210
- 上线率: ≥ 99%
特征：
- 可选U型布局或直线型布局
- 独有的硅片传输设计，减少硅片接触点及次数
- Class 1000洁净度设计
- 全直线电机设计，高速、稳定，可靠
- 高强度碳纤维手臂设计
- 可选PL、隐裂检测
- 可选支持MES功能和远程诊断功能
- 匹配多种智能IGV接口
- 智能机器，OEE统计和能源消耗分析功能
- 适应M6,M10,M12及220-230mm整片片或半片
PVD镀膜自动化
产品信息：
- 型号: RTA-PVD-3500-24000
- 产能：3500-24000
- 碎片率：0.06%@182；0.06%@210
- 上线率: ≥ 99%
特征：
- 可选U型布局或直线型布局
- Class 1000洁净度设计
- 全直线电机设计，高速、稳定，可靠
- 可选PL、隐裂检测
- 可选支持MES功能和远程诊断功能
- 匹配多种智能IGV接口
- 智能机器，OEE统计和能源消耗分析功能
- 适应M6,M10,M12及220-230mm整片片或半片
布局尺寸
- W x D x H
- 16000 X3100 X 2500 mm
测试分选
RTA-SRT-7500
产品信息：
- 型号: RTA-SRT-7500
- 产能：7500@166；7500@182；7200@210
- 碎片率：≤0.06%@166；0.08%@182；0.08%@210
- 上线率: ≥ 99%
- 可选支持AOI正反面检测，IV正反面检测
- 整体式布局或分体式布局
- 可选AB轨共用方案，整体长度短
- 适应M6,M10,M12及220-230mm电池片，半片